SPM-9700HT-原子力显微镜/扫描探针显微镜

探知未来
原子力显微镜（AFM）是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。

缩短观察时间  高通量扫描
通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化，成功实现以传统设备5倍以上的速度（与本公司相比）获取图像数据。

扫描器可简单更换，因而可使用传统扫描器。另外，可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器，实现设备的分析。

分析案例

• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

• 光栅沟槽形状检测

以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析，沟槽形状检测结果均相同。

探针安装夹具——“探针专家”（选配）

可轻松地准确安装探针。

安装顺序：
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定，保持探针能够滑动。

高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时，也可接触样品。
·无论样品的厚薄，可自动驱近到更适宜的观测位置。

SPM-9700HT 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能  -样品更换的分析处理比较-

SPM-9700HT仅用鼠标即可实现旋转、放大缩小、Z轴倍率的自由变化，调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能，由此实现高度分析，提高图像确认的效率。

鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显示物理性信息时，也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状，并进行分析。

从观察到分析实现无拘无束的可操作性

从在线观察到离线分析采用新界面（GUI）设计，实现了从观察操作到观察位置、结果分析的简单便捷操作。

操作简单明确
从启动到观察、分析，均无复杂的设定，轻松点击鼠标即可进行操作。 自动进针，自动扫描，全程保护探针不受损伤，同时保证图像分辨率和探针寿命。